一种硅片承载器,其包括一根护条以及由下述零件焊接和/或拼接而成的结构,所述护条为PFA包覆金属的圆柱形杆,两个相互对立的端板,每个端板内部开有至少一个窗口,每个端板的外表面焊接有两个提拉块,所述提拉块位于同一水平位置,并相对于端板的垂直中心轴轴对称,所述端板的侧边为圆弧形,底部具有两个用于支撑所述承载器的脚,顶部中心焊接有支撑杆,所述支撑杆顶部开有容纳所述护条的半开放孔;至少四条拉杆,每对拉杆相对立的焊接在所述两个端板内侧,在每对拉杆相对的内表面上开有承载硅片的卡槽;至少一个中板,所述中板外形与端板外形一致,在所述拉杆相应的位置开有半开放孔或封闭孔,使得拉杆从其中间穿过,其内部开有窗口。
